自2017年以来,IWAPS已经在全国各地成功举办六届。会议投稿、会议报告与参会人数逐年增加,行业反响热烈,业已成为国内高端光刻技术领域的重要会议。此外,IWAPS自2020年起已被IEEE收录,接收论文将被送检IEEE Xplore与EI。欢迎大家踊跃报名、投稿!
第七届IWAPS将于2023年10月25-26日于浙江丽水举行请于2023年10月24日报到欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲,参会名额有限,有意者请及时报名参会!
官网报名链接:https://www.iwaps.org/cn/index/10
扫码报名手机扫描二维码,通过邀请函报名
-主办单位-
中国集成电路创新联盟
中国光学学会
-承办单位-
中国科学院微电子研究所
丽水经济技术开发区管理委员会
-协办单位-
浙江富浙资本管理有限公司
广东省大湾区集成电路与系统应用研究院
南京诚芯集成电路技术研究院
丽水龙江产业平台运营有限公司
-往届精彩回顾-
IWAPS 2017 北京
链接:首届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕
IWAPS 2018 厦门
链接:第二届国际先进光刻技术研讨会胜利闭幕
IWAPS 2019 南京
链接:第三届国际先进光刻技术研讨会在南京开幕
IWAPS 2020 成都
链接:第四届国际先进光刻技术研讨会在成都开幕
IWAPS 2021 佛山
链接:第五届国际先进光刻技术研讨会在广东佛山开幕
IWAPS 2022 北京 线上
链接:第六届国际先进光刻技术研讨会顺利闭幕
-征稿范围-
i. Optical Lithographyii. Extreme Ultraviolet (EUV) Lithographyiii. Advanced Patterning Technologiesiv. Metrology, Inspection and Testingv. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturabilityvi. Materialsvii. Process
-往年论文集-
IWAPS 2020: https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9286788/proceedingIWAPS 2021:https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9670881/proceedingIWAPS 2022: https://ieeexplore.ieee.org/xpl/conhome/9971792/proceeding
IWAPS 2023会议筹备工作已经展开更多信息,敬请关注会议官网www.iwaps.org/cn(请复制链接后在浏览器中打开)以及“光刻人的世界”微信公众号我们会随时更新