据中芯国际官网消息，中芯南方集成电路制造有限公司（中芯南方厂）已于2019年第三季度成功量产第一代14纳米FinFET工艺。该芯片生产线是国内首条14纳米生产线，也是目前中芯国际最先进的生产基地。
根据调查，中芯南方计划总投资102.4亿美元，在中芯国际上海厂区保留地块上，建设两条月产能均为3.5万片芯片的集成电路生产线（即SN1和SN2），生产技术水平以12英寸14纳米为主，产品主要面向下一代移动通讯和智能终端。
根据规划，该项目达产后，中芯南方厂将建成两条月产能均为3.5万片的集成电路先进生产线。12纳米技术也已开始客户导入，下一代技术的研发也稳步开展。新生产线将助力将来5G、物联网、车用电子等新兴应用的发展。
根据2014年发布的《国家集成电路产业发展推进纲要》显示：到2020年，16/14纳米制造工艺实现规模量产。据《浦东时报》报道称，该项目提前一年完成了国家提出的重要发展目标。
